用真空檢漏箱測試產(chǎn)品，核心是制造內(nèi)外壓力差，通過氣泡觀察、真空衰減、氦質(zhì)譜三種主流方法判斷密封性。

一、測試前準(zhǔn)備（通用）

1. 樣品處理

   • 清潔產(chǎn)品表面油污、灰塵、水分，避免干擾檢漏液或示蹤氣體。

   • 對產(chǎn)品做預(yù)檢漏（如簡單充氣泡水），排除明顯大漏，提高效率。

   • 用專用治具 / 法蘭固定產(chǎn)品，確保接口密封，必要時涂真空密封脂或用 O 型圈。

2. 設(shè)備檢查

   • 確認(rèn)真空泵油位正常、管路無泄漏、真空計 / 壓力表校準(zhǔn)有效。

   • 設(shè)定測試參數(shù)：真空度（-80~-95kPa，按產(chǎn)品要求）、保壓時間（30s~10min）、判定閾值。

   • 準(zhǔn)備檢漏液（肥皂水 / 專用）、氦氣、氦質(zhì)譜儀（按需）。

二、三種主流測試方法（按精度選擇）

方法 1：氣泡法（zui常用、低成本、直觀）

1. 產(chǎn)品放入檢漏箱，wan全浸入水中（或表面涂滿檢漏液）。

2. 關(guān)閉箱門，鎖緊密封，啟動抽真空至設(shè)定值（如 - 90kPa）。

3. 保壓觀察：持續(xù) 30~60s，觀察是否有連續(xù)氣泡冒出。

4. 緩慢破真空，取出產(chǎn)品，標(biāo)記漏點位置。

   判定：無氣泡 = 合格；有連續(xù)氣泡 = 泄漏。

方法 2：真空衰減法（定量、自動化、無液體）

1. 產(chǎn)品放入箱內(nèi)，密封連接（封閉產(chǎn)品開口，形成獨立腔體）。

2. 對箱內(nèi) + 產(chǎn)品內(nèi)部同時抽真空至目標(biāo)值（如 1Pa）。

3. 關(guān)閉抽氣閥，保壓計時（如 1min），記錄壓力變化 ΔP。

4. 系統(tǒng)自動計算泄漏率：泄漏率 =ΔP×V/Δt（V 為產(chǎn)品容積）。

5. 破真空，取出產(chǎn)品。

   判定：泄漏率≤標(biāo)準(zhǔn)值 = 合格；否則不合格。

方法 3：氦質(zhì)譜法（超高精度、微漏檢測）

1. 產(chǎn)品放入真空箱，連接充氦管路與氦質(zhì)譜儀。

2. 箱內(nèi)粗抽→精抽至高真空（≤1×10?? Pa）。

3. 向產(chǎn)品內(nèi)部充入高純氦氣（0.1~0.5MPa），保壓。

4. 質(zhì)譜儀掃描箱內(nèi)環(huán)境，檢測氦信號，定位漏點并計算泄漏率。

5. 回收氦氣，破真空，取出產(chǎn)品。

   判定：泄漏率≤標(biāo)準(zhǔn)（如 5×10?? Pa?m³/s）= 合格。

三、完整標(biāo)準(zhǔn)操作流程（通用版）

1. 裝夾產(chǎn)品：放入箱內(nèi)→固定→密封接口→關(guān)閉箱門并鎖緊。

2. 抽真空：啟動泵→抽至設(shè)定真空度→穩(wěn)定 10s。

3. 測試保壓：按方法執(zhí)行（觀察氣泡 / 記錄壓力 / 檢測氦氣）。

4. 數(shù)據(jù)記錄：真空度、保壓時間、壓力變化、泄漏率、結(jié)果判定。

5. 破真空：緩慢打開放氣閥，平衡內(nèi)外壓力（防產(chǎn)品損壞）。

6. 取出與清潔：開門→取產(chǎn)品→清潔箱內(nèi)與治具→關(guān)閉設(shè)備。

四、關(guān)鍵參數(shù)與判定標(biāo)準(zhǔn)

• 真空度：常規(guī) - 85~-95kPa；高精度≤1Pa。

• 保壓時間：小產(chǎn)品 30~60s；大產(chǎn)品 / 高要求 3~10min。

• 泄漏率閾值：

  • 一般包裝：≤1×10?? Pa?m³/s

  • 電子 / 汽配：≤1×10??~1×10?? Pa?m³/s

  • 半導(dǎo)體 / 鋰電：≤1×10??~1×10?¹² Pa?m³/s

• 氣泡判定：無連續(xù)氣泡 = 合格；有氣泡 = 泄漏。

五、常見問題與解決

• 抽不上真空：檢查門封、管路、產(chǎn)品接口是否漏氣；更換密封件。

• 保壓時壓力回升快：產(chǎn)品存在泄漏；用氣泡法定位漏點。

• 氣泡不明顯：提高真空度、延長保壓時間、更換高靈敏度檢漏液。

• 氦檢無信號：檢查氦氣供應(yīng)、質(zhì)譜儀校準(zhǔn)、產(chǎn)品充氦是否充分。

六、方法對比（快速選型）