一、硅晶片真空高溫烤箱技術參數:

型號：HE-ZK-300/400/500/600/800/1000

內箱尺寸（寬*高*深）：300X300X300、400X400X400、500X500X500、600X600X600、800X800X800、1000X1000X1000（MM）

外形尺寸（寬*高*深）：600X470X710、700X570X810、800X670X910、900X870X1010、1100X1070X1210、1200X1270X1410（MM）

隔層：箱內分為二層，配不銹鋼網板二個，可活動抽出；

門上有玻璃視窗：鋼化玻璃（無照明）

內材質為：304#不銹鋼工業板，加強處理，抽真空不變形；

外材質為：冷軋鋼板,厚1.2mm,粉體烤漆處理；

保溫材質為：耐高溫巖棉，保溫效果好；

密封材質為：耐高溫硅膠條；

使用電源：AC 單相 三線 220V 50HZ

二、硅晶片真空高溫烤箱控溫系統

1)  溫度范圍：室溫～200℃

2)  升溫速率：RT～100℃（約15～20分鐘）

3)  顯示精度：0.1℃

4)  箱內溫度均勻度：±5℃

5)  加熱體：為耐高溫發熱管

6)  加熱技術：采用三面加熱的熱輻射的方式

三、真空系統

1.真空度范圍：0.1Kpa～101Kpa（常壓為101PKa，真空表為負壓表即顯示相對值壓力）

2.真空表顯示精度：0.1KPa

3.漏氣率：≤500Pa/小時

4.解壓方式：直接充入環境空氣

5.真空泵：1臺（XD-40）

四、設備結構

1.內箱采用SUS304#不銹鋼材料，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑；

2.本機箱門松緊可由客戶任意調節，整體成形的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度；

3.控制面板采用微電腦智能PID控制，具有定時和超溫報警功能；

4.箱門采用鋼化、防爆雙層玻璃門，使觀察工作室培養物品一目了然。

五、保護系統

A.超溫保護系統：機臺在整機的供電輸入處，加裝了超溫保護系統及功率過大時自動熔斷保險絲系統；

B.高溫保護系統：當由于外力原因導致溫度失控時，本系統會在超過設定溫度10度時自動停止加熱供電，從而保護你的產品及機器的安全；

C.過流保護系統：當由于外加電壓過高或其它原因導致整機的功率超出正常功率時，本系統會自動斷電保護整機的工控組件不被損壞。